|
|
|
|
رسوب فیزیکی بخار حاصل از اشعه الکترون برای ایجاد لایه نازک آلیاژ نیکل-تیتانیوم روی ویفر سیلیکونی
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
صدرنژاد خطیب الاسلام ,شایق محمد رضا
|
|
منبع
|
مهندسي متالورژي - 1386 - دوره : 10 - شماره : 27-28 - صفحه:34 -39
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
آدرس
|
دانشگاه صنعتی شریف, دانشکده مهندسی و علم, ایران, دانشگاه صنعتی شریف, هسته تحقیقات تولید مواد پیشرفته ، دانشکده مهندسی و علم مواد, پژوهشگاه مواد و انرژی, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|