بهینه سازی پارامترهای صیقل‌کاری آینه‌های مسی به روش شیمیایی-مکانیکی

آینه‌های مسی، پرکاربردترین آینه‌ها در صنایع لیزر به خصوص لیزرهای با توان بالا است. یکی از روش‌های تولید این آینه‌ها فرآیند صیقل‌کاری شیمیایی مکانیکی است که پارامتر‌های آن ارتباط مستقیم با کیفیت سطح آینه دارد. هدف از این تحقیق، بهینه سازی پارامترهای مهم در فرآیند صیقل‌کاری آینه مسی می‌باشد. در این راستا از روش طراحی آزمایشات با رویکرد‌ تاگوچی جهت جمع‌آوری داده‌های تجربی استفاده شده است. سپس به کمک نتایج آنالیز واریانس، و تحلیل نسبت سیگنال به نویز، سطوح بهینه پارامترها تعیین گردید. نتایج حاصل از بهینه‌سازی نشان دهنده بهبود ده درصدی نسبت به بهترین حالت آزمایشات طراحی شده، می‌باشد.

Optimization of Copper Mirrors Polishing Parameters by ChemicalMechanical Method

Copper mirrors are most applicable in laser industries especially in highest laser powers. One of the processes for manufacturing these mirrors is Chemicalmechanical polishing process. Quality of mirror surface is depended on many factors in this process. The main objective of this study is to model and optimize important parameters in cupper mirrors polishing process. Optimization of polishing parameters was performed using experimental data and statistical methods. A Taguchi approach is employed in order to gather experimental data. Based on analysis of variance (ANOVA) and signaltonoise (S/N) ratio, the best sets of polishing parameters specifications have been determined. The results of the optimization indicate an improvement of %10 compared to the best experimental results of the design experiments.