بررسی خواص الکتریکی نمونه‌های ساندویچی (Cu/Si/PS/Au) به منظور ساخت حس‌گر گازهای CO2، N2 وO2

این پژوهش به‌منظور بررسی اثر حس‌گری گاز و رفتار الکتریکی نمونه‌های ساندویچی برپایه سیلیکان متخلخل (ps) با ساختار cu/si/ps/au انجام شده است. لایه‌های نازک ps به روش الکتروشیمیایی از زیر لایه سیلیکان با مقاومت ویژه 1.4-2.6 ساخته می‌شوند . پارامترهای قابل تغییر در ساخت نمونه‌ها، زمان آندی‌سازی، فاصله بین آند و کاتد(l) و چگالی جریان آنودی‌سازی و غلظت محلول الکترولیت هستند که محلول الکترولیت شامل اسید‌هیدروفلوریک hf(48%) ، اتانول c2h5oh(99.9%) و آب‌مقطر با نسبت‌های مختلف x:y:z در نظر گرفته شده است. نمونه‌ها پس از متخلخل شدن رفتار متفاوتی از خود نشان می‌دهد که این اثر را می‌توان با اندازه‌گیری گاف انرژی از روی نمودار توجیه کرد. هم‌چنین در این مقاله مشخصه‌های i-v , i-tنمونه‌ها در شرایط مختلف و در حضور گازهای co2,n2,o2اندازه‌گیری و مقایسه شده‌اند. بهترین شرایط از لحاظ پاسخ به اعمال گاز متعلق به پارامترهای: چگالی جریان 20 ma/cm2،t = 1800 s ، ph = 1.869 و فاصله بین آند و کاتد l=4 cm است.