فلزینه کاری پلیمرها: مس روی سیکلوتن

بررسی تقاضاهای تکنولوژی gsi و ulsi حاکی از نیاز ساختارهای چندلایه به کاهش زمان تاخیر انتقال علایم بین سیستمهای نیمه هادی است . این کاهش با استفاده از یک فلز هادی خوب مانند مس و یک غیرهادی کم ظرفیت تر از آنچه هم اکنون استفاده می شود مانند سیکلوتن ممکن است . در این مقاله نتایج حاصل از چسبندگی پوشش تبخیری و پراکنشی مس روی سیکلوتن 3022 بررسی می شود . پس از ارائه واکنشهای فصل مشترک فلز و پلیمر که رابطه مستقیم با چسبندگی دارد روشهای بهبود چسبندگی منجمله تغییر سطح پلیمر توسط پلاسمای نیتروژن ارائه می شود .