طراحی فرآیند ساخت ساده و کم‌هزینه جهت پیاده‌سازی آرایه‌ای از تیرک‌های یک سر آزاد دو ماده‌ای بر اساس فناوری mems

هدف این مقاله،‏ معرفی یک طراحی فرآیند ساخت ساده به منظور پیاده سازی آرایه‌ای از میکرو تیرک‌های یک سر آزاد دو ماده‌ای از جنس sio2/al است که مبتنی برپایه فناوری میکرو ماشین‌کاری حجمی می‌باشد. به کمک این فرآیند می-توان تیرک‌های دوماده‌ائی را در آزمایشگاه‌های تحقیقاتی با امکانات محدود پیاده‌سازی نمود. از نتایج حاصل از این مقاله می‌توان برای ساخت حساسه‌ها بر پایه تیرک‌های یک سر آزاد از جنس sio2/al استفاده نمود. بزرگ‌ترین مشکل فنی در ساخت این نوع از تیرک‌ها به روش میکرو ماشین‌کاری حجمی،‏ حفاظت از al در داخل زدایشگرهای سیلیکون از قبیل koh،‏ edp و tmah است که در این روش از زدایشگر سیلیکون dual doped tmah استفاده‌شده است. این فرآیند با سه عملیات لیتوگرافی یک‌طرفه و یک عملیات لیتوگرافی دوطرفه توسط دو ماسک کرمی و یک ماسک پلاستیکی شفاف تحقق‌یافته است. همچنین با استفاده از معلق سازی تیرک‌ها به روش رهاسازی‌تر در دمای محیط از پیچیدگی رهاسازی تیرک‌ها از لایه قربانی اجتناب شده است. با این فرآیند،‏ آرایه‌ای از تیرک‌های یک سر آزاد دو ماده ای به طول‌های µm50،‏ 100،‏ 150،‏ 200،‏ 250،‏ 300،‏ 350 و 400 و به عرض‌های µm20 و 40 باضخامت µm1 برای sio2 و nm200 برای al ساخته شده‌اند.