|
|
ساخت میکروکانال با استفاده از فرآیند برجستهسازی گرم
|
|
|
|
|
نویسنده
|
شمسی علیرضا ,امیری ثانی علی ,دلارام فریمانی سعید ,حاج قاسم حسن ,محتشمی فر منصور ,علی احمدی مجیدرضا
|
منبع
|
صنايع الكترونيك - 1392 - دوره : 4 - شماره : 2 - صفحه:5 -11
|
|
|
چکیده
|
در این مقاله فرآیند ساخت میکروکانالها با استفاده از روش برجستهسازی گرم ارایه گردیده است. همچنین با استفاده از راهکارهایی، پیچیدگیها و هزینه ساخت کاهش داده شده و از موادی پلیمری، کم هزینه و سازگار با نمونههای زیستی بهره گرفته شده تا برای استفاده در ابزارهای ریزسیال مناسب باشند. برای ایجاد میکروکانالها ابتدا مُهری از جنس پلیمرsu-8 با استفاده از روشهای لیتوگرافی استاندارد، روی یک زیرلایه شیشهای ساخته شده، سپس با اعمال فشار و حرارت طی فرآیندی کنترل شده، میکروکانال مورد نظر در بستری از جنس پلیمر pmma ایجاد گردیده است. استفاده از مهر su-8 صافی سطح بهتری را در کف کانال منجر شده و به ایجاد جریاناهای آرام در داخل کانال کمک مینماید. همچنین دیواره کانالها به طور قابل قبولی عمود بوده و این مسیله در تصاویری که با میکروسکوب روبش الکترونی گرفته شده، به خوبی نشان داده شده است. عوامل موثر بر کیفیت ساختار ایجاد شده از قبیل دما، فشار و زمان حرارت دهی مورد بررسی قرارگرفته و مقادیر بهینه تعیین گردیدهاند. همچنین، میکروکانالهای ساخته شده در این مقاله دارای عرض 15میکرومتر و عمقی برابر 40 میکرومتر می-باشند.
|
کلیدواژه
|
Polymer ,Su-8 ,Microchannel ,Pmma ,Hot Embossing
|
آدرس
|
دانشگاه صنعتی مالک اشتر, دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران, ایران, دانشگاه صنعتی مالک اشتر, دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران, ایران, دانشگاه صنعتی مالک اشتر, دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران, ایران, دانشگاه صنعتی مالک اشتر, دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران, ایران, دانشگاه صنعتی مالک اشتر, دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران, ایران, دانشگاه صنعتی مالک اشتر, دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|