طراحی و ساخت شبکه تط بیق امپدانس 56 / 13 مگاهرتز 600 واتی برای تشک یپللاسمای فرکانس راد یوی

از آنجایی که محفظه ی پلاسما از نظر الکتریکی، باری متغیر با زمان محسوب می شود و امپدانس آن از ابتدای فرآیند تاانتهای آن ثابت نیست، لازم است که بین مولّد فرکانس رادیویی و محفظهی پلاسما از یک شبکه ی تطبیق امپدانس استفادهشود تا با اندازه گیری یک پارامتر مناسب مانند پارامتر vswr و اعمال تغییر مناسب بر روی المان های شبکه ی تطبیقامپدانس، مولّد فرکانس رادیویی در تمام طول فرآیند (با وجود تغییر بار الکتریکی محفظه) در خروجی خود، بار 50 اهمخالص را ببیند. در این فعالیت کار طراحی و ساخت یک شبکه ی تطبیق امپدانس با قابلیت انتقال توان 600 وات درفرکانس 56 / 13 مگاهرتز برای تطبیق بار الکتریکی محفظه ی پلاسما به امپدانس خروجی مولّد فرکانس رادیویی انجام شدهاست. در جعبهی تطبیق امپدانس طراحی شده، از یک شبکه نوع l که شامل دو خازن متغیر و یک سلف ثابت است، بهعنوان شبکه ی تطبیق امپدانس، از یک اندازه گیر vswr به عنوان حسگر تطبیق، از دو عدد موتور servo به عنوان عملگربرای چرخاندن خازن های متغیر و از الگوریتم کمینه vswr به عنوان الگوریتم تطبیق استفاده شده است.