طراحی و ساخت میکروهیتر پلاتینی کم مصرف با عملکرد بالا مبتنی بر ساختار غشای معلق

با توسعه فناوری میکروماشینی و میکروالکترونیک، میکروهیتر یک مولفه کلیدی در میکروحسگرها به حساب می آید. در این مقاله یک میکروهیترپلاتینی با ساختار غشای معلق طراحی و ساخته شده است. شبیه سازی با نرم افزار کاونتور به کار گرفته شده است تا طراحی بهینه انتخاب شود. برای به دست آوردن توزیع دمای یکنواخت در سرتاسر ناحیه فعال میکروهیتر و افزایش استقامت غشا، لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی الکتریک قرار داده شده است. یک فرآیند ساده و مطابق با فرآیند استاندارد مدار مجتمع برای ساخت میکروهیتر کم مصرف طراحی شده است. میکروهیتر ساخته شده برای رسیدن به دمای بالا oc400 فقط به توان مصرفی کم 45 میلی وات نیاز دارد. هم چنین دارای پاسخ زمانی بسیار سریع در محدوده 5 میلی ثانیه برای رسیدن به دمایoc400 است.