طراحی و شبیه سازی میکروهیتر ساخته شده با تکنولوژی MEMS
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
سمایی فر فاطمه
|
|
منبع
|
صنايع الكترونيك - 1391 - دوره : 3 - شماره : 4 - صفحه:95 -112
|
|
چکیده
|
یکی از اجزای کلیدی در میکروحساسه ها میکروهیتر می باشد. از میکروهیترها در کاربردهای بسیاری ازجمله حساسه‌های گاز و حساسه‌های فشار استفاده می کنند. در این مقاله طراحی و شبیه سازی میکرهیتر ارایه شده است. آنالیز انتقال گرما به کار گرفته شده است تا مشخص شود کدام ساختار میکرو هیتر بهترین بازدهی گرمایی را دارد. حساسیت و دقت یک حساسه گازی که در آن از هیتر استفاده می شود به یکنواختی دما در ناحیه فعال هیتر وابسته است. چندین روش برای ایجاد توزیع یکنواخت گرما در میکروهیترها وجود دارد. در این مقاله روش اصلاح شکل هندسی میکروهیتر بررسی شده است. هشت هندسه مختلف طراحی شده و به کمک نرم افزار cowentorware شبیه سازی شده است تا بررسی شود میکروهیتر با کدام هندسه بیشترین یکنواختی گرما را داراست. نتایج شبیه سازی نشان می دهد که ساختار ?- شکل بهترین یکنواختی گرما را دارد.
|
|
کلیدواژه
|
Finite elementanalysis ,Gas sensor ,Heat distribution ,MEM ,Micro-heater
|
|
آدرس
|
دانشگاه صنعتی مالک اشتر, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|