|
|
|
|
فناوری سامانه های میکروالکترومکانیکی (Mems)
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
طالبی مهدی
|
|
منبع
|
صنايع الكترونيك - 1389 - دوره : 1 - شماره : 1 - صفحه:57 -76
|
|
|
|
|
|
|
|
کلیدواژه
|
سامانه های میکروالکترومکانیکی ,میکروماشین ها ,سامانه های میکرونی ,سیلیسیم
|
|
آدرس
|
شرکت صنایع قطعات ایران, ایران
|
|
پست الکترونیکی
|
mehdi.talebi@gmail.com
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|