طراحی و شبیه‌سازی حسگر گاز در ابعاد نانو با تاثیر شارژ پلاسما و تکنیک الکترواستاتیک

سنسور‌های تشخیصی در بسیاری از صنایع مورد استفاده قرار می‌گیرند. یکی از انواع این سنسور‌ها حسگر‌های گازی است که کاربرد فراوانی در صنایع شیمیایی، پزشکی و ... دارند. در این مقاله حسگرهای گازی بر مبنای آشکارسازی گاز آمونیاک با تغییر در تابع‌کار فلز کاتالیزوری گیت بر پایه ساختار نانو سیم و نانو لوله با ساختار fet طراحی و شبیه‌سازی شده است. طرح اول ترانزیستور نانوسیم عمودی، طرح دوم ترانزیستور نانوسیم استوانه‌ای و طرح سوم ترانزیستور نانولوله هستند که جریان روشن، جریان خاموش، نسبت جریان‌های روشن به خاموش، حساسیت خاموش و زمان پاسخ هر یک به عنوان یک حسگرگاز مورد دقت قرار گرفته‌است. کاهش 60 درصدی جریان‌‌ روشن و 84 درصدی جریان خاموش و 2.5 برابر شدن نسبت جریان روشن به خاموش و همچنین افزایش حساسیت خاموش در ساختار لوله‌ای نسبت به طرح نانوسیم عمودی مشاهده می‌گردد.

design and simulation of gas sensor in nano dimensions with the effect of charge plasma and electrostatic technique

detective sensors are used in many industries. one of these types of sensors is gas sensors that are widely used in chemical, medical and other industries. in this paper, gas sensors are designed and simulated based on ammonia gas detection by changing the catalytic metal work function of the gate and based on nanowires and nanotubes with fet structure. the first design is a vertical nanowire transistor, the second design is a cylindrical nanowire transistor, and the third design is a nanotube transistor been investigated on-current, off-current, on/off current, off-sensitivity, and response time each as a gas sensor. the result of this paper 60 percent decrease in on-current and 84 percent decrease in off-current and 2.5-fold increase in on/off current, as well as an increase in off-sensitivity in the nanotube transistor relative to the vertical nanowire fet.