مدلسازی پلاسمای القایی آرگون در حضور د یالکتریک میکا با نرم افزار کامسو ل

راکتورهای پلاسمای جفت شده القایی ) icp ( به طور گسترده برای ساخت دستگاه های میکروالکترونیک استفاده میشوند. شبیه سازی عددی ا یندستگاهها ابزار مهمی است که درک بهتری از فرآ یندهای icp را امکا نپذیر مسازد. شبیه سازیهای مبتنی بر مدلهای سیال بارها گزارش شده اند. با ا ین حال، در بیشتر موارد دقت بالا مستلزم هزینه های محاسباتی گران است. ما در ا ین کار کاربرد کامسول را برای شبیه سازی پلاسما، با استفاده از یک مدل سیال که قادر به ارائه دقت بالا با هز ینه محاسباتی بسیار کم است، بررسی کرده ایم. ا ین رویکرد مدل میتواند علاوه بر دقت بالا، شبیه سازیهای سر یع را با تنظیم آسان شرا یط اولیه ارائه دهد که امکان تغییرات انعطا ف پذیر در متغیرهای ورودی را در مدت زمان کوتاهی فراهم میکند .