>
Fa   |   Ar   |   En
   بررسی تاثیر ارتفاع کاواک بر مشخصات پلاسمای مایکروویو هیدروژن  
   
نویسنده میرزانژاد شبنم ,سلحشور مصطفی
منبع يازدهمين كنفرانس ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران - 1403 - دوره : 11 - یازدهمین کنفرانس ملی مهندسی و فیزیک پلاسمای ایران - کد همایش: 03240-75927 - صفحه:0 -0
چکیده    در این مقاله، پلاسمای مایکروویو گاز هیدروژن از طریق شبی هسازی با استفاده از نر مافزار کامسول بررسی م یشود. ابتد ا توزیع میدان الکتریکی مایکروویو درون کاواک قبل از تشکیل پلاسما به ازای مقادیر مختلف ارتفاع کاواک محاسبه میشود تا ارتفاع بهینه کاواک شناسایی گردد. در ارتفاع بهینه شدت میدان الکتریکی در بالای نگهدارنده نمونه بیشترین مقدار را دارد. پس از آن، توزیع چگالی پلاسما برای مقادیر مختلف ارتفاع کاواک محاسبه م یشود.نشان داده میشود که در ارتفاع بهینه کاواک، پلاسما به طور متمرکز در بالای نگهدارنده نمونه تشکیل میشو د. همچنین، به منظور ارزیابی دقیقتر تاثیر ارتفاع کاواک بر مشخصات پلاسما، تغییرات محور ی و شعاعی میدان الکتریکی مایکروویو و چگالی تعدا د الکترون و هیدروژن اتمی به ازای مقادیر مختلف ارتفاع کاواک بررسی میشود.
کلیدواژه پلاسمای مایکروویو، رسوب شیمیایی بخار، شبیه ساز ی
آدرس , iran, , iran
 
     
   
Authors
  
 
 

Copyright 2023
Islamic World Science Citation Center
All Rights Reserved