طراحی و شبیه سازی یک سیستم پلاسمای چگال جفت شده القایی به منظور تولید باریکه یون

در این مقاله به ارائه یک مدل سه بعدی از سیستم پلاسمای جفت شده القایی ) icp ( توسط نرم افزار کامسول براساس روش المان محدود به منظور استفاده برای استخراج باریکه یون پرداخته شده است. مدل ارائه شده از یک آنتن سیملوله با تعداد دور 5، آهنگ گاز تزریقی 5 sccm ، فشار گاز 33 / 1 پاسکال، گاز تزریقی آرگون و فرکانس 56 / 13 مگاهرتز تشکیل شده است. در این مقاله، چگالی جریان باریکه یون را در توان های متفاوت 50 تا 400 وات و فشارهای متفاوت 5 / 0 تا 3 پاسکال براساس مشخصات چگالی و دمای الکترون پلاسمای icp مورد بررسی قرار گرفته شده است.