اندازه گیری دما و چگالی الکترون پلاسمای مایکروویو با روش طیف سنجی نشر نوری

اندازهگیری دمای الکترون و چگال ی الکترون نقش بسیار مهمی در درک و بهینه سازی و عملکرد پلاسما ایفا می کنند. پلاسمای مایکروویو امروزه اهمیت بیشتری پیدا کرده لذا ارزیابی پارامترهای میکروسکوپی از اهمیت ویژه ای برخوردار است. در کار حاضر پلاسما مایکروویو آرگون تهیه و با استفاده از طیف سنجی نشر نوری مورد ارزیابی قرار گرفت. این پارامترها با استفاده از روش نسبت شدت دو خط و روش ساها- بولتزمن محاسبه شدن د. دمای الکترو ن و تراکم الکترونی پلاسما به ترتیب k ° 4736 وcm−3 3110 × 16 / 1210-8 × 3 / 4 محاسبه شدند. طیف حاصل از نمونه ها با طیف های استاندارد حاصل ازموسسه ی ملی استانداردها و تکنولوژی ) nist ( مقایسه گردید.