تحلیل موجی کامل سوئیچ میکرو الکترومکانیکی موازی بر روی موجبر هم صفحه

در این مقاله تحلیل موجی کامل الکترومغناطیسی سوئیچ میکروالکترومکانیکی در فرکانسهای مایکروویو و امواج میلیمتری ارائه می شود. با حل معادله موج هلمهولتز با روش عناصر محدود (fem) و با استفاده از شبیه ساز hfss میدانها را بدست آوریم. ساختار سوئیچ را بعنون دو قطبی فرض کرده و پارامترهای پراکندگی (s) را از میدانهای بدست آمده استخراج میکنیم. مشخصات و کمیتهای توصیف کننده سوئیچ از جمله تلفات داخلی در حالت روشن در محدوده db 22/1-02/0 وایزولاسیون درحالت خاموش db 60-14 در محدوده فرکانسی ghz 60-1 بدست می آید. همچنین سوئیچ mems را بعنوان یک خازن در نظر گرفته و با مدل عناصر فشرده تقریب می زنیم. با استفاده از روابط ماتریس پراکندگی و ماتریس انتقال عملکرد سوئیچ محاسبه و نتایج را با تحلیل کامل مقایسه می کنیم در نهایت پارامترهای s برای ابعاد و فرکانسهای مختلف مشخص می شود. این پارامترها درطراحی کامپیوتری مدارات (cad) فرکانس بالا اهمیت اساسی دارد.