بررسی عددی زاویه پره در طبقات میانی و پایانی یک پمپ توربومولکولار پنج طبقه با درنظرگرفتن اثر مولکول‌‌های بازگشتی از سایر طبقات به روش ذره نمونه مونت‌‌کارلو

در این مقاله پس از بررسی کارهای تئوری و آزمایشگاهی انجام‌‌شده در زمینه پمپ‌‌های توربومولکولار به شبیه‌‌سازی رفتار مولکول در جریان مولکولی آزاد در بین طبقات پمپ توربومولکولار با درنظرگرفتن اثر مولکول‌‌های بازگشتی از سایر طبقات پرداخته خواهد شد. این شبیه‌‌سازی در دستگاه مختصات استوانه‌‌ای، به روش ذره نمونه مونت‌‌کارلو و با درنظرگرفتن هندسه واقعی و سه‌‌بعدی پره انجام شده است. سپس کار حاضر با نتایج تجربی و کارهای قبلی اعتبارسنجی و مقایسه می‌‌شود. در ادامه برای بررسی اثر زاویه پره در طبقات میانی و پایانی پمپ توربومولکولار، باتوجه‌به اینکه عمدتاً در این طبقات از سه زاویة20، 15 و 10 درجه استفاده می‌‌‌‌‌‌شود، چهار ترکیب مختلف از زوایای مذکور برای یک پمپ توربومولکولار پنج‌‌طبقه ارائه شده است. چهار ترکیب ارائه شده براساس دو پارامتر حداکثر نسبت تراکم و حداکثر دبی بعد در سرعت‌‌های مختلف پره، مورد ارزیابی قرار گرفته است. درنهایت می‌‌‌‌توان دریافت که برای طبقات میانی و پایانی پمپ توربومولکولار باید از زوایای مختلف با تاکید بر زاویه 15 درجه در مقایسه با زوایای 20 و 10 درجه استفاده کرد. همچنین استفاده کمتر از زاویه 10 درجه به‌منظور دستیابی به حداکثر نسبت تراکم و حداکثر دبی توصیه می‌‌گردد.

numerical investigation of the blade angle in the middle and final stages of a five-stage turbomolecular pump by considering the effect of returning molecules from other stages using the tpmc method

in this research, after examining the theoretical and experimental work done in the field of turbomolecular pumps, the simulation of the behavior of molecules in the free molecular flow between the stages of the turbomolecular pump, considering the effect of returning molecules from other stages, will be done. this simulation was done in the cylindrical coordinate system, using the test-particle monte carlo method and considering the real and three-dimensional geometry of the blade. then the present work is validated and compared with experimental results and previous works. in the following, to investigate the effect of the blade angle in the middle and final stages of the turbomolecular pump, considering that three angles of 20, 15 and 10 degrees are mainly used in these stages, four different combinations of the aforementioned angles are presented for a five-stage turbomolecular pump. the four presented combinations have been evaluated based on the two parameters of maximum compression ratio and maximum flow rate at different blade speeds. finally, it can be seen that different angles should be used for the middle and final stages of the turbomolecular pump, emphasizing the 15 degree angle compared to the 20 and 10 degree angles. it is also recommended to use an angle less than 10 degrees in order to achieve the maximum compression ratio and maximum flow rate.