کاربرد سیستمهای میکروالکترومکانیکی در سیستم های مختلف الکترونیکی (پزشکی-خودرو- نظامی و صنعتی)

فناوری mems1 یا فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیکی ، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرکها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی است . در واقع mems ، یا سیستم‌ های میکرو‌ الکترو مکانیکی تلفیقی از اجزای مکانیکی ، حسگر‌ ها ، بازو های مکانیکی و اجرای الکترونیکی هستند که بر روی لایه‌‌ ای از ماده استراتژیک « سیلیکون » قرار دارند.این ساختار مکانیکی بسیار کوچک در ابعاد « میکرون » بر پایه تکنولوژی « تراشه‌ های الکترونیکی » استوار است. فناوری mems یا فناوری سیستم‌ های میکرو الکترو مکانیکی ، در صنایع مختلف و اثرگذار جهان از جمله صنایع خودرو سازی ، موشکی و نظامی کاربرد بسیار زیادی دارند. با پیشرفت تکنولوژی، امروزه نیاز به داشتن لوازم اندازه گیری دقیق تر در صنعت خودروسازی، پزشکی، هوافضا و سایر علوم بیش از پیش احساس میگردد. در همین راستا، پیشرفت در فناوری ساخت ریز تراشه ها ic2 ها سبب ظهور تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (mems) با دقت کارکردی بالا و ایجاد امکان ساخت دستهای از ساختارها، دیوایس ها و سیستم های مکانیکی در ابعاد میکرون و بکارگیری در حوزه های کاربردی شامل شتاب سنج ها، سنسورهای فشار، ژیروسکوپ، میکرواپتیک و ...گردیده است.