ساخت حسگر گاز بر پایه ی گرافن اکساید و سیلیکون متخلخل

در این مقاله از اتصال شاتکی گرافن سیلیکن برای ساخت حسگر گاز آمونیاک استفاده شده است. جهت افزایش حساسیت از یک لایه اکسید سیلیکن در نظر گرفته شده و نرخ زدایش اکسید توسط آزمایشهای چشمی و الیپسومتری گزارش گردیده است و همچنین از روش متخلخل سازی سیلیکون استفاده شده است. این حسگر دارای حساسیت نسبتا خوبی در دمای محیط است. مشخصه جریان-ولتاژ این حسگر یک کاهش جریان را در جریان اشباع معکوس از 13.42 µa/cm2 بدون گاز به مقدار 9.31µa/cm2در حضور ppm 200 از گاز آمونیاک را نشان میدهد. علاوه بر این مشاهده شد که این حسگر دارای پاسخ زمانی 25 ثانیه و برگشتپذیری بسیار خوبی است. همچنین نشان داده شده است که با افزایش دما حساسیت این حسگر افزایش می یابد.