ساخت و مشخصه یابی حسگر گاز qcm با پوشش نیترات لانتانیوم برای آشکارسازی بخار اسید هیدروفلوئوریک

یکی از انواع محبوب حسگرهای جرمی، حسگر ریزترازوی کریستال کوارتز (qcm) است. این حسگر به تغییرات جرم در سطح حسگر حساس است. حساسیت بالا، انتخابگری مناسب و قیمت ارزان از مهم ترین ویژگی های این حسگرها هستند. از طرفی پایش ایمنی محیط و تشخیص گازهای سمی در محیط، نیاز به یک سیستم تشخیص ساده، سریع، برخط و ارزان است. در این پروژه به ساخت و مشخصه یابی حسگرهای qcm برای آشکارسازی گازهای مضر در محیط های صنعتی و به طور خاص بخار هیدروفلوئوریک اسید پرداخته شده است. برای اولین بار است که کاربرد این حسگر در تشخیص بخار hf بررسی می شود. برای ساخت حسگر از کریستال 6 mhz و روش لایه نشانی قطره-ای استفاده شده است. در این تحقیق برای ساخت حسگر از محلول نیترات لانتانیوم به منظور پوشش دهی سطح الکترود نقره استفاده شده است. مشخصات ساختار لایه جاذب با استفاده از روش fesem آزموده شد. طبق نتایج حاصل، این حسگرها از حساسیت، انتخابگری و حد تشخیص مناسبی برخوردار هستند.