طراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی mems برای استفاده در سمعک های تمام کاشت

کم شنوایی یک معلولیت بی صدا و قابل توجه است که میلیون ها نفر در سراسر جهان با این مشکل مواجه هستند. در این مقاله یک ساختار جدید، فشرده، ساده و کارآمد به منظور بهبود حساسیت و نویز شتاب سنج خازنی mems، جهت استفاده به عنوان میکروفن در سمعک تمام کاشت پیشنهاد شده است که با جراحی در ساختار استخوان گوش میانی کاشته می شود. پارامترهای طراحی مانند اندازه، جرم و فرکانس رزونانس در طراحی این شتاب سنج مورد توجه قرار گرفته است. در طراحی این ساختار از 8 فنر که در گوشه های ساختار قرار می گیرند، استفاده شده که باعث افزایش فاصله، میان مود های فرکانسی اولیه و ثانویه ساختار می گردد. این ساختار دارای مساحت 1mm^2، نویز حرارتی 18.9μg/√(h_z ) ،حساسیت عالی 8.6ff/g و ضریب شایستگی بالا است. ساختار طراحی شده با کمک نرم افزار comsol multiphysics شبیه سازی و از نظر عملکرد مورد بررسی قرار گرفته است.