مطالعه خواص اپتیکی لایه های نازک سولفید تنگستن پخت شده در اتمسفر های مختلف شامل آرگون، آرگون/هیدروژن و آمونیاک/آب و اکسیژن

در این پژوهش ، نانوساختار های دی سولفید تنگستن به روش رسوب بخار شیمیایی گرمایی در کوره سه ناحیه ای بر روی زیر لایه های sio2/si سنتز شدند. بدین منظور پودرهای گوگرد و اکسید تنگستن به ترتیب در ناحیه های اول و سوم در دما های220 ͦc و 1100°c تحت جریان گاز آرگون قرار گرفتند. سپس نمونه ها جهت بازپخت ، در بوته ای در مرکز کوره تک ناحیه ای قرار داده شدند. لایه های رشد یافته تحت گاز های مختلف آمونیاک ، هیدروژن ، اکسیژن و آرگون در دمای 450° به مدت 30 دقیقه مجدد پخت شدند. جهت بررسی اثر بازپخت، آنالیز های پراش اشعه ایکس ، طیف سنجی رامان و طیف سنجی فرابنفش-مرئی انجام شد. نتایج حاکی از تاثیر اتمسفر هیدروژن بر روی بهبود خواص اپتیکی لایه های سنتز شده است.

study on optical properties of ws2 thin films annealed in various atmospheres including ar, ar/h2, nh3/h2o and o2

in this study, tungsten disulfide nanostructures were synthesized on si/sio2 substrates by thermal chemical vapor deposition in a three-zone furnace. for this purpose, sulfur and tungsten oxide powders were exposed to argon gas in the first and third regions at 220 ° c and 1100 ° c, respectively. the samples were then placed in a plant in the center of a single-zone furnace for annealing. the grown layers were reheated under various gases of ammonia, hydrogen, oxygen and argon at 450 ° c for 30 minutes. to evaluate the annealing effect, x-ray diffraction, raman spectroscopy and ultraviolet-visible spectroscopy were performed. the results indicate the effect of hydrogen atmosphere on improving the optical properties of the synthesized layers.