|
|
ساخت نانوساختارهای دو بعدی دی سولفید مولیبدن آلاییده با پالادیوم حاصل از سولفوریزاسیون لایه مولیبدن و پالادیوم
|
|
|
|
|
نویسنده
|
صادقی سمیرا ,مرتضوی زهرا ,ریحانی علی ,پروین پرویز
|
منبع
|
سومين كنفرانس ملي ميكرونانوفناوري - 1401 - دوره : 3 - سومین کنفرانس ملی میکرونانوفناوری - کد همایش: 01220-93971 - صفحه:0 -0
|
چکیده
|
در این مقاله نانوساختار های دو بعدی دی سولفید مولیبدن و دی سولفید مولیبدن آلاییده با فلز پالادیوم، با استفاده از عمل سولفوریزاسیون لایه ی تولید شده از کندوپاش جریان مستقیم بر روی زیر لایه ی sio2/si رشد داده شده و مورد بررسی قرار گرفتند. به طوری که در مرحله اول با استفاده از تکنیک کندوپاش ضخامت های مشخصی از مولیبدن و پالادیوم بر روی زیرلایه ی مورد نظر، لایه نشانی شده سپس در مرحله ی بعد با استفاده از روش رسوب بخار شیمیایی گرمایی در حضور گوگرد منجر به تولید دی سولفید مولیبدن و دی سولفید مولیبدن آلاییده با پالادیوم شد. پس از فرایند رشد، برای تائید تشکیل لایه ی مورد نظر و بررسی خواص کریستالی از پراش اشعه ایکس و برای بررسی خواص اپتیکی آن، از طیف سنجی فرابنفش مرئی استفاده شد.
|
کلیدواژه
|
دی سولفید مولیبدن، آلایش، پالادیوم، سولفوریزاسیون، کندوپاش جریان مستقیم
|
آدرس
|
, iran, , iran, , iran, , iran
|
پست الکترونیکی
|
parvin@aut.ac.ir
|
|
|
|
|
|
|
|
|
fabrication of pd-doped molybdenum disulfide 2d nanostructures by using sulfurization of molybdenum and palladium layers
|
|
|
Authors
|
|
Abstract
|
in this paper, molybdenum disulfide and molybdenum disulfide doped palladium are grown on sio2/si substrate using sulfurization of the obtained layer from dc magnetron sputtering. at first, specific thicknesses of molybdenum and palladium are deposited on the substrate by the sputtering technique. then, by using thermal chemical vapor deposition and sulfur powder, molybdenum disulfide and molybdenum disulfide doped palladium is produced. x-ray diffraction is used to confirm the formation of the desired layer and study its crystal properties. moreover, uv-vis spectroscopy is applied to investigate its optical properties.
|
Keywords
|
molybdenum disulfide ,doping ,palladium ,sulfurization ,dc magnetron sputtering
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|