|
|
|
|
مطالعات طیف سنجی در تاثیر پلاسما بر نانوساختارهای دوبعدی سولفید تنگستن
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
زلفی مجتبی ,مرتضوی زهرا ,ریحانی علی ,پروین پرویز
|
|
منبع
|
سومين كنفرانس ملي ميكرونانوفناوري - 1401 - دوره : 3 - سومین کنفرانس ملی میکرونانوفناوری - کد همایش: 01220-93971 - صفحه:0 -0
|
|
چکیده
|
در این پژوهش، نانوساختارهای دوبعدی سولفید تنگستن به روش رسوب دهی بخار شیمیایی گرمایی در دمای ١١00 سانتیگراد با استفاده از گاز حامل آرگون بر روی زیرلایه های سیلیکونی در کوره سه ناحیه ای رشد داده شدند و پس از آن تحت تاثیر پلاسمای گاز آرگون به مدت زمان ١٠ دقیقه قرار گرفتند. نتایج حاصل از مشخصه یابی پراش اشعه ایکس، طیف سنجی فرابنفش-مرئی و طیف سنجی رامان حاکی از تعداد لایه های نانوساختارهای دوبعدی سولفید تنگستن در اثر پلاسما بود.
|
|
کلیدواژه
|
نانوساختارهای سولفید تنگستن ، رسوب دهی بخار شیمیایی گرمایی، پلاسمای گاز آرگون
|
|
آدرس
|
, iran, , iran, , iran, , iran
|
|
پست الکترونیکی
|
parvin@aut.ac.ir
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
spectroscopic investigations of plasma treated ws2 layered structures
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
Abstract
|
in this study, two dimensional nanostructures of ws2 are grown on silicon substrates by thermal chemical vapor deposition at 1100 °c using argon carrier gas in three-zone oven. after that, the nanostructures are treated by dc argon gas plasma in 10 min. the xrd, uv-visible absorption and raman spectroscopy indicate reducing the numbers of layers of ws2 2d-nanostructures after the plasma treatment.
|
|
Keywords
|
ws2 nanostructures ,thermal chemical vapor deposition ,argon plasma
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|