طراحی، شبیه‌سازی و ساخت کاواک فابری-پرو تنظیم‌پذیر الکترواستاتیکی

تداخل‌سنج‌های اپتیکی در زمینه‌های مختلفی که نیاز به تنظیم طول موج دارند کاربرد دارند. بسته به نیاز، تداخل‌سنج‌ها می‌توانند طول موج خاصی را از خود عبور دهد و به‌عنوان یک فیلتر طول موج استفاده شود. یکی از آن تداخل‌سنج‌های اپتیکی تداخل‌سنج فابری-پرو است در این تحقیق به طراحی، شبیه‌سازی و ساخت تداخل سنج فابری-پرو تنظیم‌پذیر الکترواستاتیکی moems پرداخته شده است. این ساختار از دو بخش الکترواستاتیکی و اپتیکی تشکیل شده است. بخش اپتیکی شامل دو سطح بازتابگر که یکی از آن‌ها یک فیبر نوری تک مد و دیگری سطح مقطع جرم معلق است که باعث تشکیل یک کاواک فابری-پرو می­شود. بخش الکترواستاتیکی به گونه‌ای طراحی شده که با استفاده از محرک شانه‌ای با اعمال ولتاژ به الکترودها، جرم معلق جابه‌جا شده و باعث تغیر طول موثرکاواک ‌شود. آشکار سازی خروجی این سیستم تداخلی با استفاده از دستگاه برگ سنج انجام شده است. برای هر یک ولت اعمال شده، مقدار جابه‌جایی مکانیکی 3/124 نانومتر، حساسیت اپتیکی کاواک فابری-پرو  1/3 نانومتر و فینس کاواک فابری-پرو مقدار 93/1 به دست آمد اند.

design, simulation and fabrication of electrostatically adjustable fabry-pérot cavity

optical interferometers is used to adjust the wavelength and have many applications. these interferometers could pass a specific wavelength, and can be used as a wavelength filter. one of the optical interferometers is fabry–pérot cavity. in this paper, the simulation design and construction of electrostaticaly adjustable fabry–pérot cavity based on moems is discussed. this structure consists of two parts, electrostatic and optical. the optical part consists of two reflective surfaces, one of which is end of a single-mode optical fiber and the other a suspended mass surface. shoulder actuator used to applying voltage to the suspended mass and its displacement, changes the cavity length. fibre sensing bragg meter device have been used to measuring the output. the mechanical displacement was 124.3 nm per each volt, the optical sensitivity of the fabry–pérot cavity was adjustable to 3.1 nm per volt, and the fabry–pérot cavity fineness was 1.93.