شبیه سازی ساختار با چاله سیلیسیم برای افزاره اثر میدان فلز-نیمه رسانا

برای ارائه و پیشنهاد ساختار نوینی از مسفت‌ها که بتوان در آن پارامترهای افزاره را نسبت به ساختار پایه بهبود بخشید روش های متفاوتی وجود دارد. در این مقاله ایجاد یک چاله در ساختار این افزاره پیشنهاد شده است. در اینجا ما برای بهبود پارامترهای افزاره ساختار پایه را تغییر داده‌ایم و با استفاده از نرم‌افزار سیلواکو شبیه سازی را انجام داده و نتایج را بررسی کرده‌ایم. برای بهبود پارامترها در اینجا از یک ناحیه مسدود کننده در ناحیه کانال زیر لبه گیت، بین گیت و درین استفاده کرده‌ایم. وجود این ناحیه با توجه به نتایج شبیه سازی ها باعث می‌شود ولتاژ شکست بهبود داشته‌باشد ولی سبب کاهش میزان جریان درین می‌شود که نسبت به ساختار پایه کاهش قابل توجه‌ای داشته است در نتیجه ما برای جبران این کاهش جریان از یک ناحیه فرورفتگی سیلیسیم در زیر ناحیه کانال و در قسمت لایه مدفون در لبه ناحیه کانال استفاده می‌کنیم که از قسمت سورس شروع و تقریبا تا زیر گیت امتداد دارد و میزان دقیق عمق آن هم بعد از شبیه سازی های متعدد به‌دست می‌آید