|
|
شبیهسازی کامپیوتری تولید اکسیژن شبهپایدار o2*(a1∆g) بوسیله یک میکروتخلیه کاتد توخالی در رژیم خودپالسی پلاسمای ar/o2
|
|
|
|
|
نویسنده
|
نامور لیلا ,فروتن غلامرضا ,فروتن وحید
|
منبع
|
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران - 1402 - دوره : 10 - دهمین همایش ملی مهندسی و فیزیک پلاسمای ایران - کد همایش: 02230-62808 - صفحه:0 -0
|
چکیده
|
شبیه سازی عددی یک تخلیه پلاسمای میکروکاتد توخالی برای بررسی تولید اکسیژن شبهپایدار تکی در پلاسمای ar/o2 در رژیم خودپالسی مورد استفاده قرار گرفت. نتایج شبیهسازی نشان داد که ذرات با فرکانس خودپالس 17.48 khz نوسان میکنند. بهینه فشار که در آن گونههای باردار و شبهپایدارها بیشترین چگالی خود را دارند برابر p = 200 torr است. بهره تولید o2*(a1∆g) بطور قابل توجهی تحت تاثیر کسر اکسیژن و همچنین مقدار فشار تغییر میکند طوریکه بهترین بهره در شرایط مختلفی بهدست میآید. در ترکیب 0.95 ar – 0.05 o2 در فشار 100 torr، در ترکیب 0.9 ar – 0.1 o2 در فشار 200 torr و برای ترکیب 0.91 ar – 0.09 o2 در فشار 250 torr که همگی در ولتاژ اعمالی 700 v هستند.
|
کلیدواژه
|
شبیه سازی عددی مدل عام،میکروتخلیه کاتد توخالی،اکسیژن شبهپایدار تکی،پلاسمای ar/o2
|
آدرس
|
, iran, , iran, , iran
|
پست الکترونیکی
|
vahidforoutan@hotmail.com
|
|
|
|
|
|
|
|
|
computer simulation of metastable oxygen o2*(a1∆g) production by a micro hollow cathode discharge in the self-pulsing regime of ar/o2 plasma
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|