|
|
|
|
لایه نشانی کربن الماس گونه به روش جت پلاسمای فشار اتمسفری
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
بیگ محمدلو رقیه ,قره شعبانی اسلام
|
|
منبع
|
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران - 1402 - دوره : 10 - دهمین همایش ملی مهندسی و فیزیک پلاسمای ایران - کد همایش: 02230-62808 - صفحه:0 -0
|
|
چکیده
|
در این مقاله با تکنیک پلاسمای فشار اتمسفری، کربن الماس گونه بر روی زیر لایه شیشه کوارتز با گاز آرگون خالص و ان هگزان لایه نشانی شد. برای مشخصه یابی فیلم ها از میکروسکوب نیروی اتمی برای بررسی توپوگرافی سطح، میکروسکوب الکترونی روبشی جهت بررسی مورفولوژی سطح و طیف سنجی رامان برای بررسی ساختار شیمیایی استفاده شد. خواص فیلمها بستگی به نسبت sp2 sp3/ دارد که به وسیله زمان لایه نشانی کنترل می شود به شرط تابت ماندن سایر پارامترهای فیزیکی.
|
|
کلیدواژه
|
فشار اتمسفر،لایه نازک،کربن الماس گونه
|
|
آدرس
|
, iran, , iran
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
deposition of diamond-like carbon films by using an atmospheric pressure plasma jet
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|