|
|
|
|
تاثیر دمای بازپخت حرارتی بر ویژگی‌های ساختاری و مورفولوژیکی لایه‌های نازک اکسید نیکل آلاییده با مس توسط کندوپاش مغناطیسی rf
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
فیضی الناز ,حاج اکبری فاطمه ,هژبری علیرضا
|
|
منبع
|
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران - 1402 - دوره : 10 - دهمین همایش ملی مهندسی و فیزیک پلاسمای ایران - کد همایش: 02230-62808 - صفحه:0 -0
|
|
چکیده
|
لایه نازک اکسید نیکل (nio) یک اکسید فلزی است که در سال های اخیر به دلیل سازگاری با محیط زیست مورد توجه بسیاری قرار گرفته است. علاوه بر این، با ناخالصی هایی مانند مس (cu) در لایه های nio می توان خواص لایه های تهیه شده را تغییر داد. در این مطالعه، لایه‌های نازک nio:cu بر روی زیر لایه سیلیکونی با روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی رادیویی در محیط پلاسماانباشت شدند. سپس لایه های انباشت شده در دماهای مختلف 200-600 درجه سانتی‌گراد بازپخت حرارتی شدند. نتایج پراش پرتو اشعه ایکس (xrd) نشان داد که تمامی لایه‌های انباشت شده غیر کریستالی هستند و خواص ساختاری لایه ها با دمای بازپخت تغییر نمی‌کند. همچنین، تصاویر میکروسکوپ نیروی اتمی (afm) نشان داد که مورفولوژی سطح لایه‌ها تحت تاثیر دمای بازپخت حرارتی قرار می‌گیرد. ریشه میانگین مربعات زبری (rms) و مقادیر متوسط زبری (ra) از مشاهدات afm به دست آمد. آنالیز ftir پیک‌هایی را در عدد موج 1- cm 528 و1- cm 742 نشان می‌دهد که مربوط به حالت کشش ni-o و ارتعاشات خمشی پیوند cu-o است.
|
|
کلیدواژه
|
کندوپاش،مس،اکسید نیکل،لایه نازک،ftir
|
|
آدرس
|
, iran, , iran, , iran
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
effect of annealing temperatures on structural and morphological properties of copper doped nickel oxide thin films prepared by rf magnetron sputtering
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|