طراحی و ساخت چشمه یون پلاسمای کاتد فیلامان

در این مقاله، طراحی و ساخت یک نمونه چشمه یون پلاسمای کاتد فیلامان با قطر پرتو 12 سانتیمتر گزارش شده است. این چشمه یون برای لایه نشانی کندوپاش با پرتو یون و لایه نشانی به کمک پرتو یون بکار میرود. در طراحی این چشمه یون از پیکربندی میدان مغناطیسی واگرا برای محبوس سازی الکترونها و ایجاد پلاسما در خلا بالا استفاده شده است. پرتو یون آرگون توسط یک سامانه دو-توری استخراج شده است. شرایط تولید پلاسما و تشکیل پرتو یون در محدوه فشار پایین مورد مطالعه قرار گرفته است. در فشار 4-10 × 2 میلی بار، ولتاژ تخلیه الکتریکی 60 ولت، جریان رشته 8 آمپر و میدان مغناطیسی حدود 30 گاوس، جریان تخلیه الکتریکی 5 / 2 آمپر به دست آمد.