شبیه‌سازی تخلیۀ سد دی‌الکتریک در فشار خلاء با استفاده از نرم‌افزار کامسول

در سال‌های اخیر، لایه نشانی و اصلاح سطح پلاسمایی توسط دستگاه تخلیه سد دی الکتریک در فشار خلاء، توجه زیادی را به خود جلب کرده اند. در این مطالعه با استفاده‌ از نرم‌افزار کامسول نسخه 6 مدل‌سازی دستگاه تخلیۀ سد دی‌الکتریک پلاسمای ‌گاز آرگون در فشار خلاء انجام گرفت. شبیه‌سازی در فشار پایین 1 میلی‌بار و فرکانس ثابت 50 کیلوهرتز در ولتاژهای 1، 5 و 10 کیلوولت صورت گرفته است. با تغییر ولتاژ های ذکر شده ، پارامتر های پتانسیل الکتریکی ، چگالی الکترون مورد تحلیل قرار گرفتند. از آن‌جایی که توان نهشت کل، پارامتر بسیار مهمی در اصلاح سطح پلاسمایی فیلم های نازک محسوب می‌شود ، بدین منظور علاوه بر بررسی نمودار های دو بعدی پتانسیل الکتریکی و چگالی الکترون ، نمودار تغییرات توان نهشت بر حسب زمان نیز در این مطالعه مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان می دهد که با افزایش ولتاژ اعمالی، پلاسمای یکنواخت و چگالتری در فضای بین دو الکترود، ایجاد می شود و نرخ توان نهشت یافته پلاسما، افزایش می یابد.