|
|
|
|
بررسی تاثیر ناهمواری بر خصوصیات مکانیکی و آماری لایه های نازک تانتالوم کاشت شده با یون های آرگون و نیتروژن
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
رمضانی امیر هوشنگ ,ابراهیمی نژاد ژاله
|
|
منبع
|
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران - 1402 - دوره : 10 - دهمین همایش ملی مهندسی و فیزیک پلاسمای ایران - کد همایش: 02230-62808 - صفحه:0 -0
|
|
چکیده
|
در این مقاله، اثر نوع یون برای بررسی ترابرد ازمیان ساختارهایی که فصول مشترک آنها توسط فرآیند کاشت یون ایجاد شده است، در نظر گرفته شده است .فصول مشترک بر پایه تانتالوم بوده و یون های آرگون و نیتروژن با انرژی 30 کیلوالکترون ولت و در دوزهای مختلف ر بمباران یونی نمونه ها در نظر گرفته شده اند. نتایج نشان می دهد که فصول مشترک که با کاشت یون آرگون تولید شده اند نسبت به موارد نیتروژن تاثیرات بیشتری بر ترابرد دارند. همچنین نسبت قله به دره در دو مورد کاهش می یابد.
|
|
کلیدواژه
|
تانتالوم، زبری سطح، لایه نازک
|
|
آدرس
|
, iran, , iran
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
the effects of interfacial roughness on the mechanical and statistical properties of argon and nitrogenion implanted tantalum films
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|