|
|
|
|
بررسی دمای الکترونی پلاسمای آرگون تحت شرایط خلا در دستگاه مولد پلاسمای جفت‌شده القایی icp-13.56 به روش ترسیم بولتزمن
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
طباطبائی سید منصور ,حفظ الصحه علیرضا ,یزدان پناه جمال الدین ,قرشی سید امیر حسین ,الهی مجید
|
|
منبع
|
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران - 1402 - دوره : 10 - دهمین همایش ملی مهندسی و فیزیک پلاسمای ایران - کد همایش: 02230-62808 - صفحه:0 -0
|
|
چکیده
|
در این مقاله، به اندازه‌گیری دمای الکترونی پلاسمای آرگون تحت شرایط خلاء در دستگاه مولد پلاسمای جفت‌شده القایی icp-13.56 (فرکانس کاری mhz13/56 و بیشینه توان kw 2) بر اساس طیف‌سنجی می‌پردازیم. نتایج حاصل‌شده به روش ترسیم بولتزمن برای فشارهایmbar 0/3،4 به‌ازای توان‌های rf ورودی w 200،400 ارائه و بحث می‌شوند.
|
|
کلیدواژه
|
دمای پلاسما،روش ترسیم بولتزمن،مشعل icp
|
|
آدرس
|
, iran, , iran, , iran, , iran, , iran
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
investigating the electron temperature of argon plasma under vacuum conditions in the inductively coupled plasma generator icp-13.56 by boltzmann line method
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|