|
|
استفاده از دستگاه تشخیصی قدرتمند raman در مشخصهیابی نانو ذرات سیلیکونی ساخته شده با استفاده از پلاسما
|
|
|
|
|
نویسنده
|
خلیل زاده الناز ,دهقانی زهره ,رفیعی زهرا
|
منبع
|
اولين كنفرانس بين المللي و چهارمين كنفرانس ملي تجهيزات و فناوري هاي آزمايشگاهي - 1402 - دوره : 1 - اولین کنفرانس بین المللی و چهارمین کنفرانس ملی تجهیزات و فناوری های آزمایشگاهی - کد همایش: 02230-66723 - صفحه:0 -0
|
چکیده
|
این مقاله به بررسی ویژگیهای ساختاری نانو ذرات سیلیکونی ساخته شده با استفاده از پلاسما در فشار اتمسفر توسط دسنگاه های آنالیزی مانند میکروسکوپ نیروی اتمی (afm) و طیف سنجی رامان (raman) میپردازد. نتایج بررسیها نشان میدهد که پلاسما به دلیل ویژگی منحصر به فرد و کنترل پذیری بالا قادر به تولید نانو ذرات سیلیکونی در ابعاد حدود nm 4 است. تولید نانو ذرات سیلیکونی به صورت بلوری تنها در نرخ شارشهای بالای گاز ورودی به پلاسما که منجر به شارش و پخش بیشتر پلاسمای آرگون میشود، امکان پذیر است. در شارشهای پایین، تخلیه پلاسمایی به صورت فیلمانی رخ میدهد که نتیجه آن گرم شدن ذرات به صورت موضعی و تولید نانو ذرات به صورت آمورف است.
|
کلیدواژه
|
میکروسکوپ نیروی اتمی (afm) و طیف سنجی رامان (raman) نانو ذرات سیلیکونی، پلاسمای فشار اتمسفر
|
آدرس
|
, iran, , iran, , iran
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
using a powerful raman diagnostic device in the characterization of silicon nanoparticles synthesized by using plasma
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|