تاثیر سرعت نوسانی نازل در دستگاه ساخته شده برای لایه نشانی لایه های اکسید قلع آلاییده شده با فلوئور به روش بخار مرطوب سرد

لایه‌ های نازک رسانای شفاف fto (فلوراید تین اکسید) با سطح یکنواخت بر روی بستر شیشه‌ای با روش لایه نشانی بخار مرطوب مافوق صوت (umvd) سنتز شد. در این مقاله با استفاده از میکروسکوپ کانفوکال میکروسکوپ الکترونی روبشی طیف edx و طیف عبور و شناساگر چهار نقطه ای fpp به بررسی سنتز و بهینه سازی لایه های پرداخته شد. ساختار ریخت شناسی، خواص نوری و الکتریکی فیلم ها مورد بررسی قرار گرفت. سرعت نوسان بازو دستگاه لایه نشانی در بیان فرکانس دور بر دقیقه برای رشد لایه fto بررسی شد. در نهایت مقاومت کمینه ω 10در دمای رشد c° 350 و زاویه ی 25 فاصله ی cm 5 و فرکانس hz 0.14 (ولتاژ v 9) برای این لایه ها ایجاد شد.