|
|
|
|
بررسی خواص اپتیکی و الکتروکرومیکی لایه نازک اکسید تیتانیوم تهیه شده به روش کندوپاش در فشار بالا
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
سلطانی صادق ,اردیانیان مهدی ,شهیدی محمد مهدی
|
|
منبع
|
سي امين كنفرانس ملي اپتيك و فوتونيك ايران و شانزدهمين كنفرانس ملي مهندسي و فناوري فوتونيك - 1402 - دوره : 30 - سی امین کنفرانس ملی اپتیک و فوتونیک ایران و شانزدهمین کنفرانس ملی مهندسی و فناوری فوتونیک - کد همایش: 02231-50171 - صفحه:0 -0
|
|
چکیده
|
در این مقاله به روش کندوپاش در فشار بالا و دمای پایین لایه نازک اکسید تیتانیوم به ضخامت nm 115 بر روی بستر fto جا‌نشانی و خواص ساختاری، اپتیکی و الکتروکرومیکی آن مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان دادند که لایه مورد نظر آمورف بوده و دارای گاف نواری پهن ev 69/3 و شفافیت اپتیکی بالایی است. همچنین نمونه حاصل با تغییر در عبوردهی نوری به میزان 53/45 % در طول موج nm633 خواص الکتروکرومیکی قابل توجهی را از خود نشان می دهد.
|
|
کلیدواژه
|
اکسید تیتانیوم، الکتروکرومیک، آمورف، کندوپاش، لایه نازک
|
|
آدرس
|
, iran, , iran, , iran
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
optical and electrochromic properties of titanium oxide thin film prepared by high-pressure sputtering
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
Abstract
|
in this paper, 115nm-thick titanium oxide thin film was deposited onto fto substrate using the sputtering method under high pressure and low temperature; then its structural, optical, and electrochromic properties were investigated. the results indicate that the deposited layer is amorphous and has a wide band gap of 3.69 ev and excellent optical transparency. also, the resulting film with a change in optical transmittance of 45.53% at the wavelength of 633 nm, shows significant electrochromic properties.
|
|
Keywords
|
amorphous ,electrochromic ,sputtering ,thin film ,titanium oxide
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|