بررسی و مقایسه عملکرد میکروحسگرهای پیزورزیستیو و خازنی برای سنجش فشار با حساسیت بالا

در سال‌های اخیر، میکروسنسور‌ها به دلیل هزینه پایین، ابعاد کوچک و مجتمع‌سازی آسان مورد توجه بیشتری قرار گرفته‌اند. سنسورهای فشار به‌صورت دیجیتالی، ابعاد کوچک، کم‌هزینه و کم‌مصرف ساخته شده‌اند که بازده و عملکرد این سنسورها را تا حد قابل توجهی افزایش داده و باعث شده تا موج جدیدی از نوآوری‌ها در این حوزه به راه افتد. سنسورهای پیزورزیستیو و خازنی از متداول‌ترین انواع این سنسورها هستند که در کار حاضر، به بررسی عملکرد، نقاط قوت و ضعف و مقایسه‌ی کلی این سنسورها پرداخته شده است. نتایج نشان می‎دهد که سنسورهای خازنی حساسیت بالاتر و سرعت پاسخ‌دهی بیشتری نسبت به سنسورهای پیزورزیستیو دارند.