طراحی میکرو حسگر فشار بر پایه دو تشدیدگر حلقوی آبشاری

یک  میکرو حسگر سیلیکونی بر پایه تشدیدگر حلقوی دو طبقه‌ برای اندازه‌گیری فشار طراحی شد که بر روی یک دیافراگم مستطیلی شکل از سیلیکون-سیلیکا  قرار گرفته است. میزان خمیدگی و جابجایی مکانی دیافراگم در اثر فشار ثابت وارد بر دیافراگم و پاسخ طول موجی حسگر به ترتیب با استفاده از روش المان محدود و روش تاخیر خط سیگنال  شبیه سازی شدند.  حسگر  طراحی شده دارای حساسیت. pm/kpa41 است که نسبت به دیگر حسگر های فشار بر پایه نور دارای حساسیت قابل توجهی است.

Design of micro optical pressure sensor using cascaded ring resonator

A micro-size pressure sensor is designed using the cascaded ring resonator. The sensor consisted of two ring resonator of silicon core waveguide on the silica substrate that placed on the rectangular silicon-diaphragm. The amount of deflection and the displacement of diaphragm under the applied pressure is calculated using finite element method. The wavelength response of the sensor is simulated using the delay line signal approach. The sensitivity of 41pm/kPa is achieved for the proposed sensor that is quite higher sensitivity rather than the conventional optical-based pressure sensors.