ساخت نانوژنراتور کامپوزیت پیزوالکتریک مبتنی بر نانومیله های اکسید روی رشد یافته بر روی میکروآرایه های سیلیکان

امروزه در سیستم های میکروالکترومکانیک نانومیله های پیزوالکتریک به دلیل انعطاف پذیری بالا، وزن کم و اندازه کوچک، یک محدوده برداشت انرژی هیجان انگیز را از طریق ارتعاشات مکانیکی ارائه می دهند که در این بین، نانومیله های اکسیدروی (zno nrs) یکی از پرکاربردترین مواد در ساخت دستگاه های برداشت انرژی است. در این مقاله، دو نانو ژنراتور (ng) هیبریدی مبتنی بر فیلم کامپوزیت zno nrs / pdms بر روی میکرواینتردیجیت های سیلیکانی و سطح صاف ساخته شده است. در ابتدا بر روی ویفر سیلیکانی میکرودیجیت هایی به ارتفاع 20 میکرومتر که اندازه پهنا و فاصله بین آن ها 30 میکرومتر است، ایجاد شد. رشد zno nrs شامل یک مرحله هیدروترمال در حضور پلیمر pei، جهت کاهش قطر نانومیله ها است. ولتاژ خروجی ng ولتاژ پیک تا پیک خروجی بدست آمده در حالت سطح صاف 57.6 میلی ولت در طرح دار سیلیکانی 336 میلی ولت که منجر به افزایش 580% ولتاژ خروجی می شود.