ایجاد کانال های میکرومتری به روش پلیمریزاسیون دوفوتونی با استفاده از تپ های لیزری فمتوثانیه

در روش پلیمریزاسیون دوفوتونی، از فرآیندهای غیرخطی جذب دوفوتونی و یا چند فوتونی استفاده می شود. برای اینکه جذب دو فوتونی و یا چند فوتونی در طول موجی که جذب تک فوتونی ماده قابل چشم پوشی است، القاء شود به چگالی توان قله بالایی نیاز است. در این مقاله با استفاده از تپ های پرشدت فمتوثانیه لیزر تیتانیوم سفایر و ماده فوتورزیست مثبت s1813، امکان ایجاد کانال های میکرومتری بررسی شده است. با تغییر توان میانگین باریکه لیزر، کیفیت کانال ایجاد شده مورد بررسی قرار گرفته است. بهینه کانال ایجاد شده با قطر 8 میکرومتر با تپ های لیزری با پهنای زمانی 45 فمتوثانیه و توان میانگین 94 میلی وات حاصل شده است.

Creation of micro channels by two photon polymerization method with femtosecond laser pulses

The two photon polymerization method is based on nonlinear processes such as two photon or multi photon absorption. In order to observe two-photon absorption or multi-photon absorption for materials that have negligible one-photon absorption coefficient at the laser wavelength the high peak power density is needed. In this paper creation of micro channels on positive photoresist S1813 with high intensity femtosecond pulses of Ti:Sapphire laser has been investigated experimentally. The quality and size of channels is investigated by changing the mean power of the laser beam.  The optimum channel with 8 μm diameter, has been made by pulses with 45 femtosecond duration and 94 mW mean power of the laser beam.