|
|
بررسی تاثیر هندسه بوته تبخیر بر مورفولوژی و ساختار لایه نازک نیکل لایهنشانی شده به روش Mocvd
|
|
|
DOR
|
20.1001.2.5292998190.1398.1.1.66.6
|
نویسنده
|
قلیزاده طاهره ,اکبری علیرضا ,مصطفوی زهرا ,ابراهیمی سیروس
|
منبع
|
كنفرانس بينالمللي مهندسي مواد و متالورژي ايران - 1398 - دوره : 8 - هشتمین کنفرانس بین المللی مهندسی مواد و متالورژی - کد همایش: 52929-98190
|
|
|
چکیده
|
در روش لایهنشانی بخار شیمیایی به کمک ترکیبات آلی- فلزی (mocvd)، جزئیات هندسی راکتور نقش بهسزائی در خواص لایههای سنتز شده دارد. در این مقاله تاثیر هندسه و نوع بوته تبخیر مورد استفاده روی ضخامت و خواص لایههای نازک نیکلی مورد بررسی قرار گرفته است. برای این منظور از دو بوته مختلف بهصورت قایقک با سطح ویژه cm22/31 و استوانهای با سطح موثر cm29/4 برای تبخیر استیل استون نیکل (ni(c5h7o2)2) بهعنوان پیشماده استفاده شد. ضخامت، مورفولوژی، ترکیب شیمیایی و ساختار فازی لایههای حاصل به ترتیب با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی (sem)، اسپکتروسکوپی توزیع انرژی (eds) و تفرق پرتو ایکس (xrd) بررسی شد. نتایج نشان داد که پوششهای حاصل از بوته استوانهای شکل نسبت به پوششهای حاصل از بوته قایقکی دارای ضخامت، یکنواختی و خلوص بیشتری هستند، بهطوری که در مدت زمان لایه نشانی 40 دقیقه در دمای لایهنشانی ℃260 لایههای نیکل بهترتیب با ضخامت 4 و 2 میکرومتر حاصل میشود. در لایهنشانی با استفاده از منبع تبخیر قایقکی، بعد از رشد یکنواخت، در مراحل پایانی مورفولوژی سطحی با بوجود آمدن جزایر نیکلی همراه میشود. همچنین مطابق الگوهای xrd، کلیه لایهها با ساختار بلوری با شبکه fcc با جهتگیری ترجیحی نسبی (111) متبلور میشوند.
|
کلیدواژه
|
بوته تبخیر ,فرآیند Mocvd ,لایه نازک نیکل ,مورفولوژی
|
آدرس
|
دانشگاه صنعتی سهند, ایران, دانشگاه صنعتی سهند, ایران, دانشگاه صنعتی سهند, ایران, دانشگاه صنعتی سهند, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|