>
Fa   |   Ar   |   En
   بررسی تاثیر هندسه بوته تبخیر بر مورفولوژی و ساختار لایه نازک نیکل لایه‏نشانی شده به روش Mocvd  
   
DOR 20.1001.2.5292998190.1398.1.1.66.6
نویسنده قلی‏زاده طاهره ,اکبری علیرضا ,مصطفوی زهرا ,ابراهیمی سیروس
منبع كنفرانس بين‌المللي مهندسي مواد و متالورژي ايران - 1398 - دوره : 8 - هشتمین کنفرانس بین المللی مهندسی مواد و متالورژی - کد همایش: 52929-98190
چکیده    در روش لایه‏نشانی بخار شیمیایی به‏ کمک ترکیبات آلی- فلزی (mocvd)، جزئیات هندسی راکتور نقش به‏سزائی در خواص لایه‏های سنتز شده دارد. در این مقاله تاثیر هندسه و نوع بوته تبخیر مورد استفاده روی ضخامت و خواص لایه‏های نازک نیکلی مورد بررسی قرار گرفته است. برای این منظور از دو بوته مختلف به‏صورت قایقک با سطح ویژه cm22/31 و استوانه‏ای با سطح موثر cm29/4 برای تبخیر استیل استون نیکل (ni(c5h7o2)2) به‏عنوان پیش‏ماده استفاده شد. ضخامت، مورفولوژی، ترکیب شیمیایی و ساختار فازی لایه‏های حاصل به ترتیب با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی (sem)، اسپکتروسکوپی توزیع انرژی (eds) و تفرق پرتو ایکس (xrd) بررسی شد. نتایج نشان داد که پوشش‏های حاصل از بوته استوانه‏ای شکل نسبت به پوشش‏های حاصل از بوته قایقکی دارای ضخامت، یکنواختی و خلوص بیشتری هستند، به‏طوری که‏ در مدت زمان لایه نشانی 40 دقیقه در دمای لایه‏نشانی ℃260 لایه‏های نیکل به‏ترتیب با ضخامت 4 و 2 میکرومتر حاصل می‏شود. در لایه‏نشانی با استفاده از منبع تبخیر قایقکی، بعد از رشد یکنواخت، در مراحل پایانی مورفولوژی سطحی با بوجود آمدن جزایر نیکلی همراه می‏شود. همچنین ‏مطابق الگوهای xrd، کلیه لایه‏ها با ساختار بلوری با شبکه fcc با جهت‏گیری ترجیحی نسبی (111) متبلور می‏شوند.
کلیدواژه بوته تبخیر ,فرآیند Mocvd ,لایه نازک نیکل ,مورفولوژی
آدرس دانشگاه صنعتی سهند, ایران, دانشگاه صنعتی سهند, ایران, دانشگاه صنعتی سهند, ایران, دانشگاه صنعتی سهند, ایران
 
     
   
Authors
  
 
 

Copyright 2023
Islamic World Science Citation Center
All Rights Reserved