|
|
|
|
بررسی اثر دما و ضخامت بر چسبندگی لایه مس انباشت شده به روش کندوپاش مغناطیسی
|
|
|
|
|
DOR
|
20.1001.2.9819039806.1398.9.1.60.0
|
|
نویسنده
|
noferesti amir abbas ,نوفرستی امیر عباس ,shakouri reza ,شکوری رضا ,سیدی عباس ,mashayekhi asl jahanbakhsh ,مشایخی جهانبخش
|
|
منبع
|
كنفرانس ملي خلا ايران - 1398 - دوره : 9 - نهمین کنفرانس ملی خلأ ایران - کد همایش: ۹۸۱۹۰-۳۹۸۰۶ - صفحه:173 -176
|
|
چکیده
|
یکی از پارامترهای بسیار مهم در خواص کیفی لایه های نازک، مقدار چسبندگی لایه انباشتی روی زیرلایه می باشد. در این مقاله تاثیر مقادیر ضخامت لایه و دمای زیر لایه بر روی چسبندگی لایه نازک مس بر روی شیشه بررسی شد. برای انجام این کار لایه نشانی در دماهای 25، 80 و 125 درجه سانتیگراد انجام گرفت. همچنین برای بررسی تاثیر ضخامت، لایه مس با ضخامتهای 100، 150 و 200 نانومتر روی شیشه bk7 لایه نشانی شد. برای اندازه گیری چسبندگی از دستگاه کشش استفاده شد. همچنین مورفولوژی نمونه ها توسط میکروسکوپ نیروی اتمی (afm )مورد بررسی قرار گرفت. در انتها، رفتار طیفی نمونه ها با استفاده از دستگاه اسپکتروفتومتر در محدوده طول موج 200 تا 1000نانومتر مورد بررسی قرار گرفت.
|
|
کلیدواژه
|
اسپاترینگ ,ضخامت ,لایه نشانی ,چسبندگی ,دما
|
|
آدرس
|
مرکز ملی لیزر ایران, ایران, مرکز ملی لیزر ایران, ایران, دانشگاه بین المللی امام خمینی, ایران, دانشگاه بین المللی امام خمینی, ایران, مرکز ملی لیزر ایران, ایران, مرکز ملی لیزر ایران, ایران, مرکز ملی لیزر ایران, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
The effect of thickness and temperature on the adhesion of copper thin film onglass, product by magnetron sputtering
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
Abstract
|
Adhesion is one of the most important parameters in the thin films qualitative properties. In this paper, theeffect of layer thickness and substrate temperature on the adhesion of copper thin film to glass was investigatedCopper thin films were deposited on the BK7 optical glass. Coating temperatures were 25, 80 and 125 ° C. Alsothe thickness effect was investigated in 100, 150 and 200 nm. Tensile test was used to measure adhesion of thesamples. The morphology of the samples was also analyzed by atomic force microscopy (AFM). At the end, thespectral behavior of the samples were investigated using a spectrophotometer.
|
|
Keywords
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|