|
|
|
|
بررسی نظری تاثیر دمای سطح زیرلایه در لایه نشانی طلا به روش لایه نشانی فیزیکی(pvd)
|
|
|
|
|
DOR
|
20.1001.2.9819039806.1398.9.1.57.7
|
|
نویسنده
|
علی پور زردکوهی جواد ,alipoor javad ,shariatmadar tehrani fatemeh ,شریعتمدار طهرانی فاطمه ,aliannezhadi maryam ,علیان نژادی مریم
|
|
منبع
|
كنفرانس ملي خلا ايران - 1398 - دوره : 9 - نهمین کنفرانس ملی خلأ ایران - کد همایش: ۹۸۱۹۰-۳۹۸۰۶ - صفحه:18 -21
|
|
چکیده
|
لایه های نازک طلا به طور گسترده درصنایع، انتقال دارو و پزشکی مورد استفاده قرار می گیرند. در این مقاله تاثیر دمای زیر لایه بر مشخصه های لایه طلا ایجاد شده به روش تبخیر حرارتی برای اولین بار مورد بررسی قرار گرفته است. شبیه سازی ها با حل معادلات با روش المان محدود و اعمال شرایط اولیه و مرزی انجام شده است. نتایج بررسی ها نشان می دهد که دمای سطح زیرلایه کمیت مهمی است و بر روی توزیع ضخامت لایه های نازک طلا به شدت تاثیر می گذارد. بیشترین ضخامت و یکنواختی لایه های نازک طلا در دمای زیرلایه k350 به دست آمد
|
|
کلیدواژه
|
تبخیر حرارتی ,لایه های نازک طلا ,شبیه سازی ,لایه نشانی فیزیکی
|
|
آدرس
|
دانشگاه سمنان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه سمنان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه سمنان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه سمنان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه سمنان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه سمنان, دانشکده فیزیک, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Modelling of the physical vapor deposition (PVD): effect of substrate temperatureon gold thin film
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
Abstract
|
Gold thin films are widely used in industries, drug delivery and medicine. In this paper, the effect of substrate temperature on the properties of gold thin film deposited by thermal evaporation has been studied for the first time. Finite element method was employed for simulation and equations were solved by considering initial and boundary conditions. The results showed that substrate temperature is an important parameter that can affect the thickness distribution of the deposited films
|
|
Keywords
|
تبخیر حرارتی ,لایه های نازک طلا ,شبیه سازی ,لایه نشانی فیزیکی
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|