|
|
|
|
بررسی خواص حسگری گازی لایه های moo3 ایجاد شده برروی پارچه به روش لایه نشانی کندوپاش الکترونی
|
|
|
|
|
DOR
|
20.1001.2.9819039806.1398.9.1.22.2
|
|
نویسنده
|
masoumi dehaghi zahra ,معصومی دهقی زهرا ,ranjbar mehdi ,رنجبر مهدی ,torabi godarzi mehdi ,ترابی گودرزی مهدی
|
|
منبع
|
كنفرانس ملي خلا ايران - 1398 - دوره : 9 - نهمین کنفرانس ملی خلأ ایران - کد همایش: ۹۸۱۹۰-۳۹۸۰۶ - صفحه:98 -101
|
|
چکیده
|
در این پژوهش لایه های اکسید مولیبدن (moo3) به روش کندوپاش rf بر روی زیر لایه ی پارچه پلی استر، ساخته شده وخواص رنگزایی آن درمعرض گاز هیدروژن مورد بررسی قرار می گیرد. تغییر رنگ لایه های شکل گرفته به وسیله ی حسگر رنگ شناسایی شده و میزان پاسخ حسگرها به غلظت های مختلف هیدروژن تعیین می گردد. ساختار فازی و ریخت شناسی لایه های ساخته شده به ترتیب توسط آزمون پراش پرتوایکس (xrd) و میکروسکوپ الکترونی روبشی (sem) مورد بررسی قرار گرفته است
|
|
کلیدواژه
|
اکسید مولیبدن ,کندوپاش ,الیاف پلی استر ,لایه نشانی ,حسگری گازی
|
|
آدرس
|
دانشگاه صنعتی اصفهان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه صنعتی اصفهان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه صنعتی اصفهان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه صنعتی اصفهان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه صنعتی اصفهان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه صنعتی اصفهان, دانشکده فیزیک, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Investigation of MoO3 thin films fabricated by magnetron sputtering on the textile substrate for H2 sensing
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
Abstract
|
In this study, molybdenum oxide (MoO3) thin films are fabricated by RF sputtering on polyester textile substrate,and its coloration properties are investigated under hydrogen gas exposure. The color change of the fabricatedlayers is detected by the color sensor and the response of the sensors is determined to different concentrations ofhydrogen. Phase structure and morphology of fabricated layers are investigated by X-ray diffraction (XRD) andscanning electron microscopy (SEM) analysis, respectively.
|
|
Keywords
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|