بررسی خواص گازکرومیک لایه نازک اکسید مولیبدن، لایه نشانی شده به روش اسپاترینگ، به منظور استفاده در حسگر اپتیکی هیدروژن

نانو‌‌ساختار‌های اکسید مولیبدن ویژگی های فیزیکی و شیمیایی بسیار جالبی از خود نشان می‌دهند، خاصیت گازوکرومیک یکی از همین ویژگی ها است که به واسطه ی آن می توان از اکسید مولیبدن به عنوان یک حسگر گازی استفاده کرد. در این پژوهش در گام نخست اکسید مولیبدن به روش اسپاترینگrf روی زیر‌لایه‌ی شیشه، لایه‌نشانی شد و سپس نانو‌ذرات پالادیوم با روش اسپاترینگdc به عنوان کاتالیست به آن اضافه شد. جهت بررسی فاز ساختارهای لایه‌نشانی شده از آزمون پراش پرتو ایکس، شناسایی مورفولوژی ساختار‌ها از میکروسکوپ الکترونی روبشی (sem) و برای بررسی خواص اپتیکی از آزمون طیف‌سنجی uv-visible استفاده شده است. همچنین خواص حسگری لایه‌ها نیز نسبت به گاز هیدروژن در غلظت های مختلف مورد آزمون قرار گرفت.

Investigation of gasochromic properties of molybdenum oxide thin film depositedby sputtering method for application in optical hydrogen sensor

Molybdenum oxide nanostructures exhibit interesting physical and chemical properties. gasochromic propertiesare one of these features which make molybdenum oxide be applicable as a gas sensor. In this study,molybdenum oxide was first deposited on a glass substrate by RF-sputtering and then palladium nanoparticlessputtered on surface as catalyst. The X-ray diffraction Analysis was used to investigate the crystallinestructure of thin film, scanning electron microscopy (SEM) was used to study the morphology of the structuresand UV-Visible spectroscopy was used to investigate the optical properties. The sensing properties of Pd/MoO3thin film were also tested for hydrogen gas in different concentrations.