|
|
|
|
تهیه لایه‌های نازک شفاف و رسانای اکسید قلع به روش نهشت بخار شیمیایی
|
|
|
|
|
DOR
|
20.1001.2.9819039806.1398.9.1.33.3
|
|
نویسنده
|
گواهی مائده ,govahi maede ,روضاتی محمد
|
|
منبع
|
كنفرانس ملي خلا ايران - 1398 - دوره : 9 - نهمین کنفرانس ملی خلأ ایران - کد همایش: ۹۸۱۹۰-۳۹۸۰۶ - صفحه:194 -196
|
|
چکیده
|
در این پژوهش از روش نهشت بخار شیمیایی برای ساخت لایه‌های نازک اکسید قلع برروی زیرلایه‌های شیشه‌ای استفاده شده است. در طی روند پژوهش اثر تغییرات دمای زیرلایه و تغییرات مقدار ماده‌ی استفاده شده جهت لایه نشانی، بر روی مقاومت و شفافیت لایه نازک مطالعه شد. لایه‌های تولید شده توسط طیف‌نگاری پرتو فرابنفش ( uv-vis ) مشخصه‌یابی شده‌اند. همچنین برای جلوگیری از رطوبت حاصل از اتمسفر، مواد مورد استفاده و نمونه‌های تولید شده در دسیکاتور متصل به پمپ خلا نگهداری شدند.
|
|
کلیدواژه
|
لایه نازک ,اکسید قلع ,نهشت بخار شیمیایى ,خواص اپتیکى
|
|
آدرس
|
دانشگاه گیلان, دانشکده علوم پایه, گروه فیزیک, ایران, دانشگاه گیلان, دانشکده علوم پایه, گروه فیزیک, ایران, دانشگاه گیلان, دانشکده علوم پایه, گروه فیزیک, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
A study of optical properties of SnO2 thin films
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
Abstract
|
In this study we grew SnO2 thin films on glass substrates using a chemical vapor deposition (CVD) method. Theeffect of different substrate temperatures and different amount of material on sheet resistance and transparencywas studied during the process. Thin films were characterized by UV spectroscopy. In order to eliminate thehumidity, the material and prepared samples were kept in a desiccator which was evacuated using a rotary oilpump.
|
|
Keywords
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|