دراسة بعض العیوب السطحیة لشرائح السلیکون الاحادیةالتبلور

ان البلورات الاحادیة لاشباه الموصلات لاتکون مثالیة بل تحوی فى بنیتها بعض العیوب السطحیة والمتمثلة بالتوامیة، الترکیب السلالی، الحدود الحبیبیة. تضمن البحث اعتماد تقنیة الاظهار الکیمیائی الفحوصات المجهریة لتحدید العیوب السطحیة على ا لشرائح السلیکونیة و للمستویات (111) ، (110) بعد المعاملات المیکانیکیة و استخدام محالیل الاظهار المفضلة .استخدم خلال هذا البحث محلول اوکسید الکروم الحامضی فی اظهارا لترکیب السلالی على شرائح السلیکونالاحادیة للمستویات (111)، (110) حیث اظهرت الفحوصات المجهریة هیئات هندسیة على شکل مصفوفة مثلثات متتالیة ، مصفوفة مستطیلات متتالیة فی اتجاه واحد وعلى التوالی . یظهر الترکیب السلالی بسبب تحرک الانخلاعات بشکل تسلقی مودیة الى ازاحة الشبیکة البلوریة باتجاه متجه برکر .لقد تم اعتماد محلول 4- cp فی اظهار التوامیة على شرائح السلیکون الاحادیة للمستویات (111)، (110) حیث اظهرت الفحوصات المجهریة الاختلاف فی انعکاسیة الضوء للسطح الواحد بسبب الاختلاف فی الاتجاهیة ولنفس المستوی البلوری، وتصنف تلک الاشکال الى انواع من التوامة السطحیة والتوامة التماسیة وذلک لتکوین اتجاهین متناظرین فی المستوی الواحد. بینما ادى محلول 4- cp المضاف الیه ایونات النحاس الى اظهارا لترکیب المتعدد البلورات على سطوح بلورات السلیکون ، حیث تظهر الفحوصات المجهریة انعکاسات ضوئیة مختلفة ومتعددة على شرائح البلورة.