بررسی اثر پایداری دمای زیرلایه بر کیفیت لایه های روی اکسید در روش لایه نشانی لیزری

روی اکسید (zno) یکی از پرکاربردترین اکسیدهای فلزی نیم رساناست که به دلیل داشتن ویژگیهای منحصر به فرد،کاربرد فراوانی در ساخت وسایل نوری دارد. ویژگی لایه های تهیه شده از این ماده به صورت مستقیم افزون بر شرایط پرتودهی، به شرایط لایه نشانی آن نیز بستگی دارد. در این مقاله، با هدف بررسی ثبات شرایط ترمودینامیکی بر کیفیت انباشت لایه های znoبه روش لایه نشانی لیزر پالسی، مشخصه های حجم و فشار را در حین لایه نشانی ثابت در نظر گرفتیم و با سرد شدن تدریجی زیرلایه، عامل دما را به عنوان عامل موثر در تغییر شرایط ترمودینامیکی بررسی کردیم. نتایج بدست آمده از بررسی طیف جذب مرئی فرابنفش و تصاویر میکروسکوپی و sem نمونه ها حاکی از آن است که کیفیت لایه ها در شرایط ترمودینامیکی پایدار به صورت موثری بهبود مییابد

The effects of stable substrate temperature on thequality of ZnO films prepared by pulsed laserdeposition

Zinc oxide (ZnO) is one of the most widely used semiconductor metal oxides with extensiveapplications in the manufacture of optical instruments do to its unique properties. The specificity of the films prepared by the use of this material depends directly on its deposition conditions. In this work, during the preparation of ZnO films by the pulsed laser deposition method, we fixed the volume and pressure parameters and considered the temperature factor as a varied factor by cooling down the substrate temperature to investigate the effect of thermodynamic parameters. The results of UVvisible absorption spectroscopy, microscopic and SEM images of the samples indicate that the quality of the films improves effectively under stable thermodynamic conditions.