معرفی و بررسی عملکرد تشدیدگرهای میکرومکانیکی

امروزه با پیشرفت‌های صورت‌گرفته در زمینه ساخت سیستم‌های میکروالکترومکانیکی، قطعات میکرومکانیکی کاربردهای گسترده تری یافته اند. از جمله این قطعات پرکاربرد، تشدیدگرهای میکرومکانیکی است. تشدیدگرهای میکرومکانیکی ابعادی کوچک و فرکانس های تشدید بالایی دارند. امروزه از این تشدیدگرها در سیستم‌های ارتباطی بی سیم و ناوبری، فیلترها، میکروسکوپ اتمی، ژیروسکوپ‌های ارتعاشی، حسگرهای جرم، فشار، کرنش، نیرو، شتاب‌، دما و زیستی استفاده می‌شود. با توجه به اهمیت و کاربرد گسترده تشدیدگرها، در این مقاله، نخست انواع تشدیدگرها، کاربردها، مزایا، نحوه عملکرد آنها در سیستم های ارتعاشی، مواد سازنده‌ و انواع روش‌های تحریک و تشخیص در آنها معرفی پس از آن پارامتر ضریب کیفیت و نحوه محاسبه آن تشریح می‌شود. در ادامه انواع سازوکارهای اتلاف انرژی، مدهای ارتعاشی و پارامتر مقاومت حرکتی در تشدیدگرها توضیح داده می شود و در نهایت مشخصات انواع تشدیدگرهای متداول ارائه می‌گردد.