تاثیر فرایند سینتر بر خواص الکتریکی و ریزساختاری تارگت کند‌و‌پاش و لایه‌ی نازک باریوم استرانسیوم تیتانات

در این پژوهش، اثر دمای سینتر بر ریزساختار بدنه‌های ba0.5sr0.5tio3 و خواص الکتریکی لایه‌های نازک ایجاد شده به روش کند‌و‌پاش مورد بررسی قرار گرفت. ترکیب سرامیکی ba0.5sr0.5tio3 تک‌فاز و بدون ناخالصی با استفاده از روش حالت جامد سنتز شد. به منظور بهینه‌یابی دمای پخت، این ترکیب در محدوده دمای cº 1200 تا cº 1400 سینتر شد. نتایج نشان داد که نمونه‌ی سینترشده در دمای cº 1250 از 95% چگالی نسبی و میانگین اندازه دانه‌های µm 8 برخوردار می‌باشد که به‌منظور استفاده برای تارگت کند‌و‌پاش مناسب می‌باشد. گاف انرژی لایه‌ی نازک اعمال شده از تارگت ساخته شده تحت شرایط بهینه ev 4/3 و ثابت دی الکتریک آن در فرکانس khz 10 برابر با 4400 به‌دست آمد که نشان‌دهنده‌ی خواص مطلوب لایه‌های نازک این ترکیب از تارگت ساخته‌شده‌ی آن برای کاربردهای خازنی می‌باشد. به‌منظور بررسی‌های ریزساختاری، فازی و خواص الکتریکی از آزمون‌های xrd، میکروسکوپی نوری، اندازه‌گیری چگالی، uv-vis و اندازه‌گیری ثابت دی الکتریک استفاده‌ شد.